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Temptronic ThermoChuck
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Temptronic ThermoChuck

Temptronic ThermoChuck
上海伯東美國 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 系統利用導電加熱和冷卻系統,搭配晶圓探針臺共同使用,提供 -65 至 +300°C 高低溫環境,適用晶圓 150 mm、200 mm、300 mm ,可用于激光微調 Laser Trim 和晶圓老化 Burn-in 測試,例如低泄漏探測(fA)和高電壓探測(10 kv),適用于晶圓、芯片在電高低溫環境下的特性描述、失效分析等。Temptronic ThermoChuck 適合各種廠牌晶圓探針臺,為確保兼容性,具體選型還請撥打客服熱線:021-50463511

一、晶圓尺寸:150 和 200 mm

ThermoChuck 型號

溫度范圍°C

冷卻

加熱

TP03000A

-65 to +200°C

Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling

熱電

TP03010A

+20 to +200°C

風冷/水冷*

熱電

TP03010B

0 to +200°C

Closed loop glycol/water cooling

熱電

TP03015A

+30 to +200°C (+300ºC optional)

風冷/水冷*

電阻

TP03015B

+30 to +200°C (+300°C optional)

Closed loop glycol/水冷

電阻

電壓 115V或 220V
* 用戶提供冷卻介質

二、晶圓尺寸:300 mm

ThermoChuck 型號

溫度范圍°C

冷卻

加熱

TP03500A

-55 to +200

Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling

電阻

TP03500D

+20 to +200

Open loop air cooling with Vortex*

電阻

TP03500E

+30 to +200

Open loop air cooling*

電阻

電壓 220V
* 用戶提供冷卻介質

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