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氦質譜檢漏儀和真空泵組應用于超導量子芯片裝置中
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氦質譜檢漏儀和真空泵組應用于超導量子芯片裝置中

氦質譜檢漏儀真空泵組應用于超導量子芯片裝置中
前段時間, 浙江大學, 中科院物理所, 中科院自動化所, 北京計算科學研究中心等國內單位組成的團隊通力合作, 開發出具有 20個超導量子比特的量子芯片, 并成功操控其實現全局糾纏, 刷新了固態量子器件中生成糾纏態的量子比特數目的世界記錄.

量子加速性在計算中的實現主要基于量子特性如疊加性和糾纏性, 而構建量子計算機的備選系統包括光子, 離子阱, 量子點和超導約瑟夫森結等. 相比于其他量子系統, 超導系統與環境的耦合較強, 擁有其他系統無法比擬的可控制性和可擴展能力, 更有希望實現能大規模集成的量子計算芯片.

基于超導約瑟夫森結的量子芯片作為實現量子加速能力的物理載體, 對實現超導量子比特的多體糾纏尤其重要.

作為專業人都知道, 相比于其他量子系統, 超導量子芯片系統與環境的耦合較強, 量子芯片超導系統運行需要高真空環境. 在搭建超導量子芯片系統的環境時, 保證快速抽取真空, 實現高, 超高真空環境和運行環境的腔體無泄漏是非常關鍵的. 超導系統需要高真空環境, 腔室是否有泄露, 是否有內部材料的放氣對實現高真空及超高真空很關鍵, 在超導裝置中快速抽真空和高精度檢漏不可缺少. 上海伯東提供德國 Pfeiffer HiCube 700 Pro 高性能分子泵組和移動式半導體級別的 ASM 390 氦質譜檢漏儀, 一方面對超導系統提供高效穩定的高真空環境, 另一方面輔助檢漏儀將系統真空抽到檢漏壓力, 便于檢漏儀的快速檢測.

檢漏儀的吸槍模式 ( 正壓檢漏 ) 和真空模式 ( 負壓檢漏 ) 兩種檢漏模式也為客戶實際檢漏提供可選方案, 對于大腔室的泄露檢測, 通過泵抽達到檢測真空需要更久時間, 用正壓檢漏 ( 吸槍模式) 可以對腔室內部充入示蹤氦氣, 外部用吸槍檢漏會更快捷.

上海伯東氦質譜檢漏儀 ASM 390
ASM 390 是針對大型檢漏部件設計研發, 檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 高達 35m3/h 的大抽速干泵, 可以加速泄漏檢測流程, 降低生產設備的停機時間 ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應時間使其成為同類型檢漏儀中的佼佼者

ASM 390

最小檢測漏率 ( 真空模式 ) : 1*10-12 mbar.l/s
最小檢測漏率 ( 吸槍模式 ) : 1*10-8 mbar.l/s
對氦氣的抽速: 10 L/S
前級泵抽速: 35m3/h
最大入口測試壓力: 20mbar
入口法蘭: DN40 ISO-KF


真空泵組 HiCube 700 Pro
伯東普發 Pfeiffer 真空泵 HiCube 700 Pro 泵組設備適用于所有高真空應用, 與具有最高 685 l/s 泵組抽空能力和干式前級泵一起使用. 伯東普發 Pfeiffer真空泵 HiCube Pro 的特點是極快抽氣時間, 方便移動. 可選前級泵包括我們伯東普發 Pfeiffer 真空泵 DuoLine, Pascal 系列旋片式真空泵和多級羅茨泵 ACP 系列.

渦輪分子泵組

進氣法蘭: DN 160 ISO-K / DN 160 CF-F
氮氣抽速 N2 : 685 l/s
極限真空: < 1X 10-10 hpa

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上海伯東: 葉女士                               臺灣伯東: 王女士
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